Основные свойства синхротронного излучения icon

Основные свойства синхротронного излучения



НазваниеОсновные свойства синхротронного излучения
Дата конвертации08.07.2012
Размер29.43 Kb.
ТипДокументы
1. /DOC2.DOC
2. /TITLE.DOC
Основные свойства синхротронного излучения
Курсовая работа

Основные свойства синхротронного излучения.


Синхротронное излучение (СИ) испускается заряженными частицами (электронами, протонами, позитронами), движущимися с релятивистскими скоростями по искривлен­ным траекториям. Генерация СИ обусловлена наличием у частицы центростремитель­ного ускорения. Предсказанное в конце прошлого века и открытое почти 50 лет назад (1945г.) СИ рассматривалось вначале как “помеха” в работе циклических ускорителей - синхротронов. Только в последние 10ј15 лет СИ привлекло внимание исследователей исключительным богатством своих специфических свойств и возможностью их примене­ния.

Структура накопителя электронов.



ПМ - поворотные магниты; В - магнитное поле; Р - вектор поляризации фотонов, излу­чаемых в плоскости орбиты электронов; Щ - щель канала вывода, ограничивающая ширину пучка СИ по горизонтали.

Си обладает следующими уникальными свойствами:

  1. СИ - излучение с исключительно высокой коллимацией пучка. Пучок СИ испускается электроном по касательной к траектории и имеет угловую расходимость y»g-1, где g - релятивистский фактор (отношение энергии электронов Е в накопителе к энергии покоя электрона Е0=0.511МэВ); для типичных значений Е»1ГэВ имеем 103 и 1мра¶.

  2. СИ обладает широким, непрерывным, легко перестраиваемым спектром, перекры­вающим практически весь рентгеновский диапазон и область ультрафиолетового излуче­ния (0.1ј100нм). Для описания спектральных свойств СИ вводится понятие крити­ческой длины волны lс. Это длина волны, которая делит энергетический спектр СИ на две равные части (суммарная энергия излучаемых фотонов с длинами волн меньше lс равна суммарной энергии фотонов с длинами волн больше lс).

  3. СИ обладает очень высокой интенсивностью. Интенсивность СИ в наиболее важ­ном для исследований и технологии рентгеновском диапазоне более чем на пять порядков превышает интенсивность рентгеновских трубок.

  4. СИ обладает естественной поляризацией: строго линейной на оси пучка (вектор электрического поля лежит в плоскости орбиты электронов) и строго циркулярной на его периферии.
    Поляризация СИ играет важную роль во многих прецизионных методах исследования материалов и структур микроэлектроники.

Перечисленные выше уникальные свойства синхротронного излучения позволяют под­нять на новый качественный уровень субмикронную микротехнологию и аналитические методы диагностики субмикронных функциональных структур.

Контраст в системах экспонирования с применением синхротронного излучения.


Рентгенолитография с применением синхротронного излучения - это многофакторный технологический процесс, в котором важную роль играют параметры многих компонен­тов литографической системы: источника излучения, канала вывода, рентгеношаблона, рентгенорезиста.

Главный фактор, определяющий потенциальные возможности того или иного лито­графического метода в микротехнологии СБИС - разрешение или минимальный размер надежно воспроизводимого в резисте элемента рентгеношаблона. В рентгенолитографии разрешение определяется, с одной стороны, волновой природой рентгеновского излучения (дифракционные искажения), с другой стороны, нелокальным характером формирования реального скрытого изображения (генерация фото- и оже- электронов рентгеновскими фотонами и вторичное экспонирование резиста этими электронами). Кроме того, реаль­ное технологическое разрешение очень сильно зависит от процесса проявления полученного скрытого изображения.

Для оценки эффективности работы рентгенолитографической системы экспонирова­ния в той или иной области спектра нужно учитывать не только спектральную эффек­тивность рентгенорезиста, но и рентгеновскую прозрачность, то есть оптические характеристики литографического канала вывода СИ. Поэтому в системах экспониро­вания с применением рентгеновского излучения (например, в рентгенолитографических системах экспонирования) одним из важных параметров является контраст получаемого рентгеновского изображения (например контраст скрытого изображения в рентгеноре­зисте).

Схема рентгенографической системы экспонирования в пучках СИ.



1 - вакуумное окно; 2 - мембрана рентгеношаблона; - маска; 4 - резист; 5 - рабочая пластина.



Похожие:

Основные свойства синхротронного излучения iconДокументы
1. /Info.txt
2. /Расчет характеристик канала...

Основные свойства синхротронного излучения iconФорма 9 рейтинг-план
Периодическая система элементов и периодический закон Д. И. Менделеева. Основные законы химии. Основные свойства веществ
Основные свойства синхротронного излучения iconСтруктурная организаиця света Структура фотона
В процессе проведенных различными авторами исследований были выяснены основные свойства света и его элементарной составляющей – фотона....
Основные свойства синхротронного излучения icon12. многоуровневая вселенная
В разделах 2; 3; 4 изложены основные свойства вещества субуровня и основные принципы построения элементарных частиц, ядер и атомов...
Основные свойства синхротронного излучения iconУрок математики во 2 классе. Система Л. В. Занкова Тема «Свойства сложения. Понятие о составной задаче»
Цели урока. Ввести основные свойства сложения: переместительное, сочетательное и сложение с 0; познакомить с задачей, для решения...
Основные свойства синхротронного излучения icon© Copyright Karim A. Khaidarov, 2003
Вселенной, и беря за основу представлений о нем рабочую модель [2], представляющую его в виде двухкомпонентной среды корпускулярного...
Основные свойства синхротронного излучения iconМоу «Основная общеобразовательная школа №9» Электромагнитное излучение Рентгеновские излучения
Серия изображений Солнца, полученных обсерваторией "Yohkon". Видны временные вариации мягкого рентгеновского излучения. Наблюдения...
Основные свойства синхротронного излучения iconУрок по химии и технологии Подготовили: учитель
Знать: основные технологические свойства белков и их изменения при кулинарной обработке продуктов питания
Основные свойства синхротронного излучения iconТема урока Площадь многоугольника
Дать представление об измерении площади, рассмотреть основные свойства многоугольника
Основные свойства синхротронного излучения iconКадр №1 Открытие программы PowerPoint из меню [Пуск
...
Основные свойства синхротронного излучения iconС. 493 XXIII. Об основаниях электродинамики и теории излучения чёрного тела
Если внести существенные изменения в основные законы электромагнетизма, то возникает необходимость таких изменений, а именно следовало...
Разместите кнопку на своём сайте:
Документы


База данных защищена авторским правом ©podelise.ru 2000-2014
При копировании материала обязательно указание активной ссылки открытой для индексации.
обратиться к администрации
Документы